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        廣州踏實半導體化工熱解析方案

        2021-09-26 10:21:33 HJX

        廣州踏實半導體化工熱解析方案

        半導體,化工材料制造檢測中也多用到熱解吸儀設備
        案列:丙烯酸膠帶用于半導體制造工藝中。對在半導體制造中使用的丙烯酸類膠帶,通過釋放氣體分析(EGA)- MS和TD-GC/MS分析加熱過程中有惡臭味的瑕疵品和良品,并分析瑕疵品中產生氣味的原因。
        在半導體器件和化學品制造的分析中,痕量元素雜質的控制對于性能具有至關重要的作用,甚至影響半導體產品的良品率。
        半導體制造商需要在整個制造過程中擁有檢測超痕量污染物的能力,包括晶圓、超純水、化學試劑、光刻膠、電子特氣、封裝材料等。
        半導體工藝的進步,對元素雜質和微粒污染物檢測能力提出了更高的要求。
        半導體行業中使用的有機化合物的純度雜質影響到相關產品的質量。
        半導體行業使用的有機試劑也會產生相應的揮發性有機物,對生產和環境造成污染,包括AMC、VOCs等。珀金埃爾默公司熱脫附儀與氣相色譜質譜聯用,可實現潔凈室或生產區域內空氣的在線或離線采集進樣,并檢測出低濃度(<ppb)的有機污染物。


        廣州踏實半導體化工熱解析方案

        · GBT 24577-2009 熱解吸氣相色譜法測定硅片表面的有機污染物
        · GBT 33871-2017 墨粉中總揮發性有機化合物(TVOC)、苯和苯乙烯的測定 熱脫附-氣相色譜法

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